Nội dung

Ch−¬ng 3 : C«ng nghÖ LASER 3.1 Më ®Çu LASER - nguån n¨ng l−îng míi trong ngµnh gia c«ng c¸c lo¹i vËt liÖu Ngµy nay gia c«ng kim lo¹i b»ng c¸c chïm tia cã nguån nhiÖt tËp trung ®· ®−îc sö dông kh¸ phæ biÕn. Cã thÓ liÖt kª c¸c ph−¬ng ph¸p ®ã lµ : gia c«ng b»ng c¸c chïm tia Plasma, gia c«ng b»ng tia l÷a ®iÖn, gia c«ng b»ng chïm tia ®iÖn tö, gia c«ng b»ng chïm tia laser. Trong ®ã gia c«ng b»ng chïm tia laser ®−îc øng dông rÊt nhiÒu trong c«ng nghÖ hiÖn ®¹i. Laser lµ nguån sãng ®iÖn tõ tr−êng cña bøc x¹ trong vïng cùc tÝm (tö ngo¹i), trong vïng ¸nh s¸ng nh×n thÊy ®−îc vµ vïng tia hång ngo¹i. §Æc tr−ng cña c¸c nguån n¨ng l−îng nµy lµ møc ®é ®¬n s¾c vµ ®é tËp trung cao . ChÝnh v× thÕ mµ mËt ®é nguån nhiÖt t¹i vïng gia c«ng rÊt tËp trung vµ rÊt cao. Tõ nh÷ng n¨m 1960 ng−êi ta ®· b¾t ®Çu nghiªn cøu øng dông laser trong c«ng nghÖ gia c«ng kim lo¹i vµ c¸c vËt liÖu kh¸c. Laser c«ng suÊt nhá ®−îc øng dông cho hµn, c¾t vµ mét sè c«ng nghÖ gia c«ng kh¸c víi kim lo¹i cã chiÒu dµy bÐ. Laser - Nguån n¨ng luîng tuy míi xu¸t hiÖn vµo nh÷ng n¨m 60 nh−ng cã nhiÒu −u viÖt nªn ®· ®−îc øng dông nhiÒu trong c¸c lÜnh vùc khoa häc c«ng nghÖ, trong y tÕ, trong kü thuËt qu©n sù, th«ng tin liªn l¹c, kü thuËt ¶nh,.... Laser - TiÕng Anh cã nghi· lµ : Light amplification by the Stimulated Emission of Radiaction (Cã nghÜa lµ khuyÕch ®¹i ¸nh s¸ng b»ng c¶m øng). Thùc chÊt cña qu¸ tr×nh ®ã cã thÓ lý gi¶i nh− sau : Theo ThuyÕt vÒ nguyªn tö cña Bo th× sù bøc x¹ cña c¸c v¹ch quang phæ lµ do c¸c ®iÖn tö chuyÓn ®éng tõ møc n¨ng l−îng nµy sang møc n¨ng l−îng kh¸c . Mçi lÇn thay ®æi møc n¨ng l−îng c¸c nguyªn tö sÏ bøc x¹ mét l−îng tö n¨ng l−îng: ε Trong ®ã =hν h - H»ng sè Pl¨ng; ν - tÇn sè cña ¸nh s¸ng; 25 Wk HÊp thô n¨ng l−îng Bøc x¹ n¨ng l−îng Wi H×nh 3.1 S¬ ®å m« t¶ qu¸ tr×nh h¸p thô vµ bøc x¹ Wk - Møc n¨ng l−îng ë quü ®¹o k; Wi - Møc n¨ng l−îng ë quü ®¹o i B−íc chuyÓn ®iÖn tö tõ i vÒ k øng v¬Ý sù hÊp thô n¨ng l−îng; B−íc chuyÓn ®iÖn tö tõ k vÒ i øng v¬Ý sù bøc x¹ ; The Anh -Stanh th× b−íc chuyÓn tï K vÒ i gåm 2 lo¹i : • B−íc chuyÓn tù ph¸t. Lo¹i nµy cã c«ng suÊt bøc x¹ nhá kh«ng cã t¸c dông trong c¸c m¸y ph¸t l−îng tö. • B−íc chuyÓn c¶m øng : B−íc chuyÓn nµy chÞu ¶nh h−ëng cña bøc x¹ bªn ngoµi cã tÇn sè ν ki. Ng−êi ta ®· chøng minh ®−îc r»ng muèn cã mét m«i tr−êng cã kh¶ n¨ng khuyÕch ®¹i ¸nh s¸ng th× mËt ®é nguyªn tö ë møc n¨ng l−îng cao ph¶i lín h¬n mËt ®é nguyªn tö ë møc n¨ng l−îng thÊp. Lóc ®ã, sÏ cã sù ®¶o lén vÒ mËt ®é nguyªn tö trªn c¸c møc n¨ng l−îng (t¹o nghÞch ®¶o ®é tÝch luü). Ng−êi ta sö dông mét trong ph−¬ng ph¸p t¹o ra kh¶ n¨ng ®ã lµ ph−¬ng ph¸p b¬m quang häc. Trong laser khÝ ng−êi ta sö dông hiÖu øng va ch¹m gi÷a c¸c nguyªn tö hoÆc ph©n tö ®Ó t¹o nghÞch ®¶o ®é tÝch luü; trong laserphaan tö ng−êi ta sö dông ph−¬ng ph¸p ph©n r· ph©n tö; ... 3.2 Mét sè ph−¬ng ph¸p t¹o nghÞch ®·o ®é tÝch luü Gi¶ sö m«i tr−êng ta ®ang xÐt cã 3 møc n¨ng l−îng W1, W2, W3. Khi cã t¸c dông cña ¸nh s¸ng tÇn sè ν13, nguyªn tö sÏ chuyÓn tõ møc W1 lªn W3, lóc nµy W2 ch−a cã nguyªn tö nµo c¶ nªn ta cã sù chªnh lÖch lín gi÷a 2 møc W3 vµ W2 vµ nguyªn tö chuyÓn ®éng vÒ W2 vµ cã ®−îc bøc x¹ c¶m øng : 26 W3 Bøc x¹ laser ν32 W2 ν13 W1 H×nh 3.2 S¬ ®å m« t¶ ph−¬ng ph¸p b¬m quang häc 3 møc kiÓu 1 [1] ν −ν ν 32 = 3 2 h Sau ®ã nguyªn tö ë møc W2 sÏ chuyÔn vÒ møc W1. Qu¸ tr×nh nµy cÇn ph¶i nhanh v× nÕu kh«ng th× c¸c nguyªn tö møc W2 sÏ hÊp thô bøc x¹ ν32 vµ lµm gi¶m sù khuyÕch ®¹i khi cho bøc x¹ cã tÇn sè ν32 ®i qua. Nãi mét c¸ch kh¸c s¬ ®å 3 møc nh− kiÓu ®ang xÐt ë trªn cã thÓ lµm viÖc ®−îc khi cã sù tÝch tho¸t gi÷a møc W2 vµ W1 tiÕn hµnh nhanh h¬n gi÷a møc W3 vµ W2 Tr−êng hîp tÝch tho¸t gi÷a møc W2 vµ W1 x¶y ra chËm h¬n gi÷a møc W3 vµ W2 th× c¸c nguyªn tö sÏ tËp trung trªn møc W2 ®Õn mét lóc nµo ®ã sè nguyªn tö ë møc W2 sÏ nhiÒu h¬n sè nguyªn tö ë møc W1, lóc ®ã ta sÏ ®−îc khuyÕch ®¹i ¸nh s¸ng víi tÇn sè ν 21 ( H×nh 3..3 ) . W3 W2 ν13 Bøc x¹ laser W1 H×nh 3.3 S¬ ®å m« t¶ ph−¬ng ph¸p b¬m quang häc 3 møc kiÓu 2 [1] 27 M¸y ph¸t l−ìng tö víi tinh thÓ RUBI hång Ngäc lµm viÖc theo s¬ ®å nguyªn lý ba møc n¨ng l−îng kiÓu 2. Rubi hång ngäc lµ «xyd nh«m cã chøa 0,05 % Cr. Nguyªn tö Cr trong tinh thÓ cã kh¶ n¨ng hÊp thô mét kho¶ng kh¸ réng ¸nh s¸ng vïng nh×n thÊy ®−îc vµ vïng tö ngo¹i. Khi hÊp thô ¸nh s¸ng c¸c nguyªn tö Cr chuyÓn rÊt nhanh lªn c¸c møc kÝch thÝch W3, sau ®ã tõ møc kh«ng æn ®Þnh nµy chóng chuyÓn vÒ møc W2. KÕt qu¶ lµ sè nguyªn tö ë møc siªu bÒn W2 nhiÒu h¬n ë møc W1. Gi÷a W2 vµ W1 ®· cã sù ®¶o lén vÒ mËt ®é c¸c nguyªn tö. Chóng chuyÓn ®éng ®ång lo¹t vÒ W1 vµ bøc x¹ mét n¨ng l−îng (d¹ng photon ¸nh s¸ng) víi tÇn sè : ν 21 = W2 − W1 h Víi s¬ ®å 3 møc nh− trªn cã nh−îc ®iÓm lµ cÇn tÇn sè b¬m ph¶i lín h¬n 2 lÇn tÇn sè bøc x¹ cña m¸y ph¸t l−îng tö. V× vËy trong thùc tÕ ng−êi ta cßn sö dông s¬ ®å 4 møc n¨ng l−îng (xem h×nh 3.4). W4 W3 W2 W1 A/ b/ c/ d/ H×nh 3.4 S¬ ®å nguyªn lý mét sè ph−¬ng ph¸p t¹o nghÞch ®¶o ®é tÝch luü theo s¬ ®å 4 møc [ 3 ] a/ B¬m thùc hiÖn ë 2 tÇn sè ν14 vµ ν24 . b/ B¬m thùc hiÖn ë c¶ 2 dÞch chuyÓn víi tÇn sè ν13 vµ ν34 .(gäi lµ b¬m kÐp) 28 c/ B¬m thùc hiÖn ë tÇn sè ν14 dÞch chuyÓn c«ng t¸c sÏ lµ 2-1 vµ 4-3 : víi tÇn sè ν21 vµ ν43 . a/ B¬m thùc hiÖn ë 2 tÇn sè ν13 vµ 3 víi tÇn sè ν34 (ν13 = ν34) dÞch chuyÓn c«ng t¸c sÏ lµ 4- ν43 . §èi víi c¸c lo¹i laser khÝ, ®Ó t¹o nghÞch ®¶o tÝch luü mËt ®é c¸c nguyªn tö ng−êi ta th−êng dïng c¸c hiÖu øng va ch¹m gi÷a nh÷ng nguyªn tö hoÆc ph©n tö khÝ víi nh÷ng ®iÖn tö tù do cã tèc ®é chuyÓn ®éng nhanh d−íi t¸c dông cña ®iÖn tr−êng ngoµi. Do va ch¹m víi nh÷ng ®iÖn tö chuyÓn ®éng nhanh, nh÷ng nguyªn tö hoÆc ph©n tö khÝ trong b×nh cã ¸p suÊt thÊp (10-2 - 1 mmHg) sÏ bÞ ion ho¸ hoÆc kÝch thÝch ho¸, kÕt qu¶ lµ c¸c ®iÖn tö cña nguyªn tö hay ph©n tö ®−îc n¨ng l−îng do va ch¹m sÏ dÞch chuyÓn lªn c¸c møc n¨ng l−îng cao h¬n, t¹o nªn nghÞch ®¶o ®é tÝch luû vµ cho ta bøc x¹ c¶m øng. Ngoµi ra ng−êi ta cßn sö dông ph−¬ng ph¸p ph©n r· ph©n tö ®èi víi nh÷ng laser mµ ho¹t chÊt lµ c¸c ph©n tö. Qu¸ tr×nh b¬m sÏ t¹o nªn sù kÝch thÝch do va ch¹m theo 2 h×nh thøc sau : e- + X Æ X’ + e- . Khi n¨ng l−îng cña ®iÖn tö lín th× cã thÓ x¶y ra qu¸ tr×nh kÝch thÝch do va ch¹m theo s¬ ®å : e- + X Æ X’ + 2e- . H×nh thøc va ch¹m lo¹i 2 : A’ + B Æ B’ + ∆E. §Ó bøc x¹ c¶m øng ®−îc khuyÕch ®¹i cÇn ®−a ho¹t chÊt vµo hèc céng h−ëng quang häc (xem h×nh 3-6) 29 ν32 ν32 ν13 H×nh 3-6 S¬ ®å nguyªn lý m¸y khuyÕch ®¹i l−îng tö (Héc céng h−ëng) [ 3 ] Khi ®−a vµo héc céng h−ëng, tÝn hiÖu cÇn khuyÕch ®¹i cã tÇn sè ν32. Th× trong hèc sÏ h×nh thµnh sãng ®øng ph¶n x¹ tõ thµnh èng l¹i vµ èng ®· ®−îc ®iÒu chØnh céng h−ëng ë tÇn sè ®ã. D−íi t¸c dông cña sãng ®øng ®ã trong ho¹t chÊt sÏ ph¸t sinh vµ ph¸t triÓn qu¸ tr×nh bøc x¹ c¶m øng . Nh÷ng l−îng tö n¨ng l−îng sinh ra do h¹t dÞch chuyÓn tõ møc 3 xuèng møc 2 sÏ kÕt hîp víi sãng ®iÖn tõ kÝch thÝch (tÝn hiÖu vµo) vµ sÏ duy tr× dao ®éng sinh ra trong hèc. N¨ng l−îng ®iÖn tõ trong hèc ®−îc bøc x¹ c¶m øng khuyÕch ®¹i lªn. 3.3 S¬ ®å nguyªn lý cÊu t¹o cña m¸y ph¸t laser 4 5 1 7 3 8 6 2 12345- M«i tr−êng ho¹t tÝnh Nguån ¸nh s¸ng kÝch thÝch Tia ¸nh s¸ng kÝch thÝc Héc céng h−ëng quang häc HÖ thèng g−¬ng (thÊu kÝnh hoÆc l¨ng kÝnh,... 6- G−¬ng b¸n trong suèt 7- Chïm tia laser 8- G−¬ng ph¶n x¹ 30 H×nh 3-7 S¬ ®å nguyªn lý m¸y ph¸t laser [1] 3.4 C¸c bé phËn chÝnh cóa m¸y ph¸t laser M¸y ph¸t laser ®−îc cÊu t¹o bëi 3 phÇn chÝnh : • M«i tr−êng ho¹t tÝnh • Nguèn kÝch thÝch • PhÇn quang häc M«i tr−êng quang häc lµ bé phËn quan träng - “tr¸i tim cña laser”cã nhiÖm vô t¹o ra sãng ®iÖn tõ hay sãng ¸nh s¸ng. M«i tr−¬ng ho¹t tÝnh cña laser cã thÓ dïng c¸c chÊt : • KhÝ vµ hæn hîp khÝ (Ne, He, CO2,... • Tinh thÓ (Rubi-hång ngäc,...) Thuû tinh hîp chÊt • ChÊt láng : c¸c dung dÞch s¬n, chÊt h÷a c¬, v« c¬,... • ChÊt b¸n dÉn (Ge, Si,...) §Ó cung cÊp cho m«i tr−êng ho¹t tÝnh mét n¨ng l−îng cÇn thiÕt ®Ó t¹o nªn vïng ®¶o c¸c h¹t ë c¸c møc n¨ng l−îng cao ng−êi ta dïng nguån kÝch thÝch. Nguèn kÝch thÝch th−êng dïng lµ : nguån ¸nh s¸ng ®Ìn víi hÖ thèng g−¬ng ph¶n chiÕu; dßng ®iÖn tÇn sè cao; còng cã thÕ dßng ®iÖn mét chiÒu hay dßng ®iÖn cã tÇn sè thÊp. 3.5 Ph©n lo¹i laser : Cã nhiÒu ph−¬ng ph¸p ®Ó ph©n lo¹i laser. Dùa theo vËt liÖu cÊu t¹o nªn m«i tr−êng ho¹t tÝnh ng−êi ta chia laser thµnh 3 lo¹i : laser r¾n, laser láng vµ laser khÝ. • Laser r¾n : Laser d¹ng r¾n ®−îc t¹o thµnh tõ viÖc bøc x¹ cña mét sè chÊt cã tÝnh chÊt ®Æc biÖt víi mét sè nguyªn tè cã ho¹t tÝnh ®Æc biÖt chÞu sù t¸c dông cña bøc x¹ ¸nh s¸ng. Laser d¹ng r¾n : hay sö dông lµ Rubin-Hång ngäc Al2O3 víi 0,0 % Cr2O3; KÝnh, Y3Al5O12, CaWO4; 31 Laser hång ngäc ®−îc sö dông réng r·i h¬n c¸c lo¹i kh¸c v× nã yªu cÇu n¨ng l−îng kÝch thÝch thÊp h¬n c¸c lo¹i kia. §©y lµ lo¹i laser ®Çu tiªn ®−îc chÕ t¹o tõ rubi hång ngäc, tøc lµ tõ Oxyd nh«m víi 0,05 % Cr . Lo¹i laser nµy cã tÝnh dÉn nhiÖt, bÒn nhiÖt tèt, cho phÐp lµm viÖc víi tÇn sè cao. TiÕp sau lµ laser chÕ t¹o tõ thuû tinh víi c¸c ion Neodim ( Nd) . §©y còng lµ lo¹i laser thÓ r¾n, nguyªn lý ho¹t ®éng cña chóng t−¬ng tù nhau. Laser thuû tinh Nd cã ®é ®ång nhÊt cao ®¶m b¶o gãc ph©n kú (gãc më) nhá vµ cho phÐp bøc x¹ ®Òu.gi¸ thµnh rÎ, dÉn nhiÖt tèt, cã ®é bÒn c¬ häc, ®é bÒn nhiÖt cao, thêi gian phôc vô l©u. Qu¸ tr×nh lµm viÖc cña lo¹i laser nµy theo s¬ ®å 4 møc n¨ng l−îng nªn hÇu nh− kh«ng thay ®æi nhiÒu theo nhiÖt ®é, c¸c th«ng sè cña laser v× thÕ sÏ æn ®Þnh h¬n. Nh−îc ®iÓm cña lo¹i nµy lµ tÝnh dÉn nhiÖt vµ chÞu nhiÕt kÐm, h¹n chÕ kh¶ n¨ng n©ng cao c«ng suÊt hoÆc khi lµm viÖc ë chÕ ®é liªn tôc. V× thÕ, hai lo¹i laser trªn ®ang ®−îc c¶i thiÖn vµ hoµn chØnh liªn tôc . C¸c lo¹i laser trªn cho phÐp gia c«ng lç cã ®−êng kÝnh tõ 10 ... 500 µm víi chiÒu dµy cña vËt liÖu tõ 1 .. 3 mm • Laser thÓ khÝ cã c¸c lo¹i : Laser CO2 - N2. - Laser CO2 - Ne - He - Laser N2, Ar,... Laser thÓ khÝ cã b−íc sãng dao ®éng trong kho¶ng réng, tõ tö ngo¹i ®Õn hång ngo¹i, cho nªn cho phÐp ta chän ®−îc lo¹i laser phï hîp víi tõng lo¹i vËt liÖu gia c«ng : kim lo¹i, thuû tinh, chÊt b¸n dÉn, gèm sø, v¶i, gç,... HÖ sè höu Ých cao VÝ dô : Laser thuû tinh - Nd ®¹t hÖ sè höu Ých η = 0,1 ... 1 % (cã thÓ ®¹t 2... 3%) Laser CO2 cã thÓ ®¹t hÖ sè höu Ých η <= 25 %, C«ng suÊt bøc x¹ ®Õn 100KW Cã thÓ lµm viÖc ë chÕ ®é liªn tôc hay chÕ ®é xung; vËn hµnh ®¬n gi¶n. HÖ sè höu Ých CO2 cã thÓ c¹nh tranh trong c¸c c«ng viÖc c¾t xÐn v¶i, giÊy, giÊy c¸c ton, da, gç, c¾t nh÷ng tÊm máng tõ kim lo¹i cøng. • Laser láng lµ mét trong nh÷ng h−íng míi cña laser. Cã 2 lo¹i chÊt láng th−êng dïng lµ c¸c hæn hîp h÷u c¬ kim lo¹i vµ chÊt mµu. Lo¹i hæn hîp h÷u c¬ kim lo¹i chøa mét sè nguyªn tè hiÕm nh− Eu (eu-r«-pi). M«i tr−êng h÷u c¬ 32 ®ãng vai trß trung gian, nhËn n¨ng l−îng cña nguån ¸nh s¸ng kÝch thÝch råi truyÒn l¹i cho c¸c nguyªn tö Eu bÞ kÝch thÝch vµ bøc x¹ víi b−íc sãng 0,61 µm. C¸c lo¹i laser láng cã nh−îc ®iÓm lµ m«i tr−êng ho¹t tÝnh kh«ng bÒn v÷ng, chÊt h÷u c¬ bÞ ph©n huû d−íi t¸c ®éng cña ¸nh s¸ng kÝch thÝch. V× vËy hiÖn nay ng−êi ta thay chóng b»ng c¸c chÊt v« c¬. C¸c dung dÞch v« c¬ ®−îc chÕ t¹o tõ Oxyd Clorua phot pho hoÆc oxyd clorua selen víi nª«dim (Nd) hoÆc mét Ýt Clorit thiÕc hoÆc c¸c halogen kim lo¹i hoµ tan. Lo¹i laser chÊt láng v« c¬ cã c«ng suÊt bøc x¹ cao (cë 500W ë chÕ ®é xung) vµ hiÖu suÊt kh¸ cao (t−¬ng ®−¬ng laser r¾n víi hîp chÊt Nd) • Laser kh«ng cÇn nguån cung cÊp ®iÖn : + “Laser khÝ ®éng häc” hay “laser ph¶n lùc” : Ng−êi ta t¹o ra vïng ®¶o b»ng ph−¬ng ph¸p gi¶n në khÝ ®ét ngét . + Laser ho¸ häc Dïng n¨ng l−îng sinh ra do c¸c ph¶n øng ho¸ häc ®Ó t¹o ra vïng ®¶o c¸c møc n¨ng l−îng. + Laser gamma lµ mét lo¹i laser cã cÊu t¹o phøc t¹p c«ng suÊt lín vµ b−íc sãng ng¾n cã thÓ ®¹t cë vµi Ao (<10-7 cm). B¶ng 3.1 c¸c th«ng sè ®Æc tr−ng cña mét sè lo¹i Laser [4] M«i tr−êng B−íc ho¹t tÝnh sãng Rubin TÇn sè Thêi gian Kho¶ng thêi gian mét xung cho phÐp lµm viÖc µKm Hz 1 xung (gi©y) 0,6943 1 ... 5 (0,5 -3).10-3 Thuû tinh + 1,06 0,05 ... 10 -7 1 10 ... 2.10 (50... 100).103 xung -3 3 (50... 100).10 xung Nd C«ng dông Hµn, khoÐt lç hµn khoan lç hîp kim cøng YAl5O12 1,06 50 ... 100 CO2-N2-He 10,6 Liªn tôc 2.10-4 (50... 100).103 xung C¾t 500 ... 1000 giê Hµn vµ c¾t 500... 1000 giê Gia 50 ... 200 N2 0,3371 100 ... 150 c«ng mµng máng vµ chÊt b¸n dÉn 33 3.6. §Æc ®iÓm vµ kh¶ n¨ng øng dông cña laser 3.6.1 §Æc ®iÓm cña laser 1. C«ng suÊt ( C−êng ®é ) cña nguån bøc x¹ b»ng ¸nh s¸ng rÊt m¹nh so víi nguån n¨ng l−îng ®iÖn tõ cã cïng nguån. 2. §é ®¬n s¾c cao . §é ®¬n s¾c ®−îc ®Æc tr−ng bëi tû sè µ = ∆λ / λo . S = ∆ω / ωo Trong ®ã ∆λ - ChiÒu réng quang phæ; µ - Møc ®é ®¬n s¾c ωo - TÇn sè øng víi ®é dµi b−íc sãng λo Laser Rubin-Hång Ngäc : λ = 0,69 µm Víi D = 1 cm §−êng kÝnh chïm tia bøc x¹ th× gãc ph©n kú θ0,5 = 0,85.10-4 rad ≈ 14'' Laser CO2 Víi : λ = 10,6 µm D = 1,2.10-3 cm §−êng kÝnh chïm tia bøc x¹ th× θ0,5 = 0,85.10-4 rad ≈ 3'20'' Trong thùc tÕ gãc ph©n kú cã lín h¬n do ¶nh h−ëng cña ®é ®ång nhÊt vÒ sù ph©n bè biªn ®é vµ c¸c pha trong vïng bøc x¹. VÝ dô - kÝch th−íc vïng bøc x¹ cña tinh thÓ hång ngäc kho¶ng 100 µm; kÝch th−íc vïng bøc x¹ cña hæn hîp hång ngäc kho¶ng 850 µm (R−kalinpage 8) 3. TÝnh ®ång lo¹t cao : : 10-8 s Thêi gian kÕt hîp ®èi víi tia ¸nh s¸ng th−êng lµ Thêi gian kÕt hîp ®èi víi tia laser lµ : 10-2 - 10-1s 4. KÝch th−íc chïm tia nhá, cã h−íng tËp trung vµ cã tÝnh héi tô cao 5. TÇn sè æn ®Þnh; 6. Thêi gian mét xung ng¾n kho¶ng 10-9 gi©y 34