Nội dung

ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT QUANG, TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG ZnO HV: VÕ THỊ NGỌC THỦY KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Sơ đồ nhiễu xạ của màng ZnO ở độ dày 260nm màng ưu tiên phát triển theo hướng (002), định hướng theo trục c Các màng là đa tinh thể và được định hướng ngẫu nhiên (do xử lý nhiệt và precusor khác nhau) Fig. 1. X-ray diffractograms of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii) 165 nm, (iv) 180 nm, (v) 260 nm, (vi) 300 nm, (vii) 400 nm and (viii) 600 nm. Bề mặt hình học của màng ZnO kích thước các hạt trở nên đồng đều và lớn hơn khi độ dày của màng tăng lên Fig. 3. FESEM micrographs of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii) 180 nm, (iv) 260 nm, (v) 300 nm, (vi) 400 nm and (vii) 600 nm. Fig. 2. The plot of strain e zz (%) along c-axis and FWHM of (0 0 2) peak for ZnO films with various thickness. Khi ứng suất màng nhỏ thì tính chất tinh thể của màng sẽ trỏ nên tốt hơn   zz  cấu trúc màng tốt nhất khi màng ở độ dày 260 nm Tính quang của màng Tính chất quang trở nên tốt hơn khi độ dày ở khoảng 165-300nm. Độ dày trên 300nm thì trạng thái kích thích trong phổ hấp thu trở nên rộng ra và biến mất hoàn toàn đối với màng dày 600nm. Tất cả các màng mà có bờ hấp thu thẳng trong vùng UV dưới 400nm. Tính điện của màng khi ứng suất tăng điện trở suất tăng Myong cùng các cộng sự cũng cho thấy rằng khi bề dày tăng, màng xốp hơn, hấp thu oxi nhiều hơn,nồng độ hạt tải giảm và vì vậy điện trở suất tăng khi tăng bề dày KẾT LUẬN Các tính chất về cấu trúc, tính quang, tính điện được thấy rằng là chúng phụ thuộc vào bề dày của màng.  Tính chất về cấu trúc tốt hơn khi độ dày trong khoảng 180-300nm. Và định hướng theo trục c khi màng dày 260 nm. Tính quang và điện được cải tiến khi bề dày của màng khoảng 260nm. Tiên đoán là các tính chất về cấu trúc, quang, điện sẽ trở nên tốt hơn đối với màng ZnO được chế tạo bằng phương pháp sol-gel ở độ dày khoảng 260nm.